Точне вимірювання — це діяльність із отримання високоточних даних, які майже наближені до справжнього значення, шляхом контролю похибок вимірювань у дуже малому діапазоні за допомогою передових технологічних засобів.
1. Точне-вимірювання вузького сенсу (вимірювання геометричних величин)
Це в першу чергу зосереджено на точному визначенні геометричних параметрів, таких як довжина, кут і форма, які зазвичай зустрічаються у виробництві точних механічних деталей. Наприклад, у процесі виробництва чіп-літографічних машин похибка розмірів основних компонентів має досягати нанометрового рівня, що потребує вимірювання суб-мікронного рівня та калібрування за допомогою високо-точного обладнання, такого як лазерні інтерферометри.
2. Широко{1}}точне вимірювання (багатомірне вимірювання фізичної величини)
Це поширюється на вимірювання таких фізичних величин, як температура, електромагнітні властивості та характеристики рідини, що підтримує високо{0}}виробництво та передові-наукові дослідження. Супутникові системи контролю орієнтації вимагають одночасного моніторингу кількох параметрів, таких як вимірювання кутової швидкості гіроскопа (точність досягає 0,001 градуса/год) і визначення стабільності бортової тактової частоти (похибка менше 1×10⁻¹³).
3. Основні елементи впровадження
• Контроль середовища вимірювання: лабораторія постійної-температури вакууму, необхідна для виявлення гравітаційної хвилі, повинна пригнічувати коливання температури з точністю до 0,01 градуса.
• Рівень точності приладу: пристрої відліку часу на атомному годиннику можуть досягти похибки не більше 1 секунди протягом десятків мільйонів років.
• Технологія усунення помилок: координатно-вимірювальні машини використовують багато-алгоритми компенсації зондів для зменшення системних помилок до рівня нижче 0,5 мікрометра.